一、空氣預處理系統
1、管道過濾器濾芯:每6個月更換，或出現壓差表指針到紅區更換。
2、精過濾器濾芯:每12個月更換，或出現壓差表指針到紅區更換。
3、超精過濾器濾芯:每12個月更換，或出現壓差表指針到紅區更換。
4、冷凍干燥機
a、保持蒸發壓力0.4~0.5MPa之間。
b、建議加裝風管，定期清潔冷卻器。
c、每日檢查自動排水器，以免堵塞而失去排水作用。若堵塞時，可稍微打開手動閥門，關閉自排閥門再拆下自動排水器，分解清洗。清洗自動排水器時，使用肥皂沫清洗即可。嚴禁使用汽油、甲苯、松香水等侵蝕性溶液。
d、每日檢查風冷式冷凝冷卻器的鰭片是否干凈，以免因散熱不良影響干燥機之效用與壽命。
e、風冷式:清洗冷凝冷卻器濾網可用壓縮空氣噴槍噴洗。若嚴重堵塞，可用清洗藥劑清洗，但不得使用會侵蝕銅管及鰭片之溶劑。
水冷式:a)平時保持Y型水過濾器之清潔。b)必要時可拆開端板，以加長型軟毛刷清洗。c)或聯絡原廠服務部協助保養。
f、隨時注意干燥機入口風量、溫度及壓力是否超過額定。
5、活性炭:每12個月更換。
6、自動排污閥:運行時要注意觀察，如出現不排污現象要及時清洗或更換。
二、氧氮分離系統
1、電磁閥:壽命約為2年。
2、傳感器:不同分析儀表的傳感器使用壽命不一樣。
3、氣動閥門密封件:壽命約為2年，使用壽命為150萬次，為確保設備正常運行，建議用戶一年更換一次。
4、粉塵過濾器濾芯:每18個月更換，或每次加篩后更換。
5、分子篩:根據用戶使用情況，建議用戶一年添加一次。
三、氮氣純化系統
1、催化劑:鈀觸媒或碳脫氧劑
2、分子篩:規格:13X
3、氣動閥密封件(耐高溫):使用壽命為150萬次，為確保設備正常運行，建議用戶一年更換一次。
4、冷凍干燥機 (同上)
5、粉塵濾芯:每12個月更換，或每次加分子篩后更換。
6、電熱管:損壞時更換
7、熱電偶:損壞時更換
8、電磁閥:壽命約為2年